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微電子院牽頭開展硅光MEMS國家標準建設工作

　　12月10日，SAC/TC336全國微機電技術標準化技術委員會硅光MEMS標準化工作組成立大會在中國兵器工業集團微電子院召開，標志著由微電子院牽頭的硅光MEMS國家標準建設工作正式起航。

　　硅光MEMS是集合了微電子、微機械和光電子技術交叉融合的前沿技術，在數據通訊、生化醫療、自動駕駛、國防安全等領域應用前景廣闊，目前標準領域尚為空白，亟待建立國家甚至國際標準。

　　微電子院MEMS技術位居國內前列，此次作為工作組牽頭單位，將積極協同高校、科研院所和上下游企業，在國標委的指導下，圍繞硅光MEMS技術和產業發展，加快國家標準制定，廣泛開展科研項目和產業合作，助推我國硅光MEMS產業持續健康發展。

　　來源/微電子院 文/蘇楊 朱震星